(C, H, O, N) + (O + OF + CO + COF + F + E ) & RARR; CO2 & UARR; + H2O & UARR; + NO2 + 化学：HF + SI & RARR;SIF+H2HF+SIOSIF+H2O在等离子体化学反应中起化学作用的粒子主要是阳离子
