请检查接线和流量计。③真空腔体或管道泄漏，电晕处理机报警检查连接部位及腔体密封。④检查系统参数设置。9真空电晕真空度太低，系统自动停机，请检查送风是否正常①进气流量设置较小，无法保持真空度。②流量计故障：流量计堵塞或损坏。③检查减压表、气路电磁阀工作是否正常。④检查系统参数设置。10真空电晕真空计故
