本发明公开了一种电芯等离子清洗装置，电芯plasma蚀刻包括支撑体、传送带、等离子清洗头、等离子发生器和等离子变压器；支撑体设有清洗通道，传送带穿过清洗通道，清洗通道的两个内侧壁分别设有等离子清洗头，等离子清洗头与清洗通道内侧壁的距离可调，等离子清洗头电连接等离子发生器，等离子发生器电连接等离子变压
