还有四氟化碳（CF4）和六氟化硫（SF6）等特殊气体，电线等离子蚀刻设备可以增加蚀刻和去除有机物的效果。但是，使用这些气体的前提是要有完全耐腐蚀的气路和空腔结构。此外，您必须佩戴防护罩和手套才能工作。最后提到的气体是氮气 (N2)。这种气体主要与在线等离子体结合使用，对材料表面进行活化和改性。当然，
