此外,电晕机硅胶管报价由于工艺始终由人在洁净室进行,半导体晶圆不可避免地受到各种杂质的污染。根据污染物的来源和性质,大致可分为颗粒物、有机物、金属离子和氧化物四大类。一:颗粒-颗粒颗粒主要是聚合物、光刻胶和蚀刻杂质。在器件的光刻过程中,此类污染物主要通过范德华吸引吸附在晶片表面,影响器件的几何图形和