CF4和O2是用于清除刚柔印刷电路板微孔污垢的气体。CF4和O2输入电晕机真空腔后，电晕机报警显示3是怎么回事在电晕发生器的高频高压电场作用下，CF4和O2气体解离或相互作用，产生含有自由基、原子、分子和电子的电晕气体气氛：O2+CF2&RARR；O+OF+CO+COF+F+E+电晕中的自由基和正离
