目前主要采用的刻蚀技术有离子束刻蚀(IBE)、电感耦合电晕刻蚀(ICP)、反应离子刻蚀(RIE)等系统。值得注意的是，电晕机外套管带有电弧怎样处理磁性隧道结的形状不仅影响器件性能，还会显著影响电晕清洁器的蚀刻工艺，例如圆柱形或环形图案的蚀刻会相对简单。目前报道的用于磁性隧道结的材料含有Fe、Co、N
