电子温度远高于离子温度，电晕处理机生产厂家东莞离子温度与室温相当。真空金属的电离率较低。因此，低温电晕是一种非热平衡电晕，低温电晕中存在大量活性粒子，比普通化学反应产生的活性更强，容易与牛接触材料表面发生反应，因此用于材料表面改性。。真空电晕改善材料表面性能的机理研究；真空电晕的机理取决于电晕中活性
