低温电晕器电晕除胶的优点是除胶操作简单，电晕处理装置常见故障处理除胶效率高，表面干净光滑，无划痕，成本低，环保。介质电晕刻蚀设备一般采用电容耦合电晕平行板反应器。在平行电极反应器中，反应离子刻蚀腔采用小阴极面积和大阳极面积的非对称设计，刻蚀材料放置在面积较小的电极上。2.化学反应式为A(g)+B(g
