由于源射频和等离子体清洁器 ICP 的偏置射频之间的耦合可以忽略不计，电感耦合等离子体是什么意思因此该直流脉冲的引入允许精确控制不同材料之间蚀刻的高选择性比。可以达到ALE刻蚀的面积，远远优于传统的基于气体脉冲的ALE刻蚀四步法（吸附、排气、反应、排气）。除了改进 EED 和 IED 的方向，Lam
