随着放电电压的增加，电子电路plasma表面清洗电离率和电子密度增加，高能电子与CH4碰撞的截面也增加，这意味着碰撞概率增加，CH活性物质数量增加。实验过程中，随着电压的增加，反应器壁碳积累量增加。。等离子清洗机已经应用到各种电子元器件的制造中，电子电路plasma表面清洗可以肯定的是，没有等离子清
