.等离子清洗机又称等离子蚀刻机、等离子脱胶机、等离子活化剂、等离子清洗机、等离子表面处理机、等离子清洗系统等。等离子处理设备广泛用于等离子清洗、等离子蚀刻、等离子晶片剥离、等离子镀膜、等离子灰化、等离子活化、等离子表面处理等。去除有机污染物、油或油脂。等离子清洗机处理晶圆表面的照片。等离子清洗机的表
