等离子体是物质的第四态，特殊附着力树脂在气体状态接受足够的能量即可变为等离子体态是由带电粒子（包括离子、电子、离子团）和中性粒子组成的系统。具体地讲，等离子体就是一种特殊的电离气体。需要有足够的电离度的电离气体才具有等离子体性质 ( 电离度 >10-4 )。。干式洁净工艺满足无尘室等苛刻条件使
