没有引线键合或灌封工艺,棉是亲水性因为使用铜凸块代替引线键合进行电连接。 2-2:晶圆级封装预处理的目的是去除表面矿物质,减少氧化层,增加铜表面粗糙度,提高产品可靠性。 2-3:晶圆级封装前处理由于生产能力的需要,等离子清洗机的真空反应室、电极结构、气流分布、水冷系统、均匀性等方面的设计会有很大差异