Ar和氦性质稳定，减小物体表面附着力的方法低放电电压（Ar原子电离能E为15.57eV)易形成亚稳态原子。首先，等离子体处理器利用其高能粒子的物理功能，清洁容易氧化或还原的物体。Ar+轰击污垢形成挥发性污垢，真空泵将其抽出，避免表面板的反应。由于高温等离子体对物体表面的作用过于强强烈，物体表面附着力
