第二，表面改性混合机等离子体与材料表面之间的用处。除了气体分子、离子和电子，真空等离子清洗装置产生的等离子中，还有被势能激发的电中性原子或自由基，以及等离子发出的光。这些短波长可能使紫外光在等离子体与物质表面的相互作用中发挥重要作用。下面解释它们的用法。 3.自由基与物质表面的化学反应这些自由基是电
