5. 无线电范围内的高频产生的等离子体不同于激光等直射光。等离子的方向不强，银浆附着力提高深入细孔和凹入物体内部完成清洗操作，因此无需考虑被清洗物体的形状。此外，这些难清洗部位的清洗效果（效果）甚至比氟利昂清洗还要好。 6、等离子清洗需要控制的真空度在Pa左右，这种清洗条件简单。达到。因此，该装置的
