射频电源：工作频率13.56Mhz，油漆漆膜附着力合格标准输出功率零至六百瓦可进行调节，全智能真空系统电容匹配器。另可配对中频电源，工作频率40KHz，输出功率在0-5千瓦内，可进行调节13.56MHz，也称射频电源，是常见的电源种类，其特色是低温等离子体能量较低，可是低温等离子体的密度高。效果均匀
