典型的等离子化学清洗技术是氧等离子清洗。在电浆中带来的氧自由基非常活泼，附着力与摩擦力区别容易与烃类作用生成CO2、CO、H2O等挥发性物质，从而有效地去除面上污染物。二、等离子体处理设备激起頻率分类 等离子体的相对密度与激起頻率有关：nc=1.2425×108v2,这儿nc是等离子态相
