等离子清洗机技术在半导体晶圆清洗中的应用已经成为成熟的工艺：在半导体制造过程中，油漆附着力检测图片几乎所有的工序都需要清洗，晶圆清洗的质量对器件的性能有着严重的影响。晶圆清洗是半导体制造过程中重要且频繁的工序，其工艺质量直接影响器件的良率、性能和可靠性，因此对国内外各大公司、研究所等进行了研究。 .
