泵的排气口连接有油雾过滤器，滤芯亲水性可去除真空泵排出的90%的油雾，防止对工作环境的污染，并能起到降噪的作用。过滤后的油应从油箱排出机体外，否则油会积聚在滤芯与机体之间，造成油雾。一、推荐使用滤芯过滤装置每三个月更换一次。如无废气排出，检查滤芯是否堵塞，必要时更换滤芯。等离子体是一种高频器件，存在
