影响等离子体清洗效果的因素很多，溅射镀膜的附着力其中最重要的是工频、工作压力、工作气体种类和清洗时间。电极对等离子体清洗的影响电极设计对等离子体清洗效果有显著影响，包括电极材料、布局和尺寸等因素。对于内部电极等离子体清洗系统，由于电极暴露在等离子体中，部分材料的电极会被部分等离子体刻蚀或溅射，造成不
