湿法清洗有很大的局限性，湿法刻蚀设备供应商从对环境的危害。考虑到物料的损耗和未来的发展趋势，干洗明显优于湿法清洗。等离子清洗机发展迅速，优点明显。等离子体是指电子、离子、原子、分子或自由基等粒子的组合。在清洗阶段，高能电子撞击反应气体分子使其游离或电离，利用各种粒子轰击清洗表面或与清洗表面发生化学反
