蚀刻作用是利用典型的气体组合，湖南真空等离子处理机作用在物体表面形成强烈的蚀刻气相等离子体和有机基体，产生一氧化碳、二氧化碳、H2O等其他气体，达到蚀刻的目的。用于蚀刻的气体主要是含氟气体，最常用的是四氟化碳。四氟化碳是一种无色无味的气体，无毒、不易燃，但具有很强的麻醉作用。因此，储存工业用的容器是
