针对不同的清洗对象可挑选O2、H2和Ar等艺气体进行短时间的表面处理。1.1 化学反应为主的清洗运用等离子体里的高活性自由基与材料表面的有机物等做化学反应，湖南真空等离子喷涂设备报价又称PE。选用氧气进行清洗，使非挥发性的有机物变成易挥发的形状，产生二氧化碳、一氧化碳和水。化学清洗的利益是清洁速度高
