等离子清洗设备 等离子处理是一种简单方便的栅极表面处理方法，湖南光学等离子清洗机技术特点用于降低器件的阈值电压，增加器件的导通电流。 HEMT 器件 AIGaN 的表面被氧等离子体氧化。这改善了器件的肖特基势垒，降低了器件的读取电压。同时，氧等离子体处理的表面不会引入影响器件性能的新绝缘膜。 HEM
