在半导体芯片中使用等离子体是基于集成电路的各种元件和连接线非常小心，发泡附着力检查在加工过程中容易产生粉尘和有机污染，容易损坏芯片，导致芯片短路。为了解决这些问题，等离子体表面处理设备的引入在后续的加工过程中做好预处理工作。使用等离子表面处理器，更好地维护您的产品。等离子体器件可以在不破坏晶圆表面特
