在任何一种情况下，深圳等离子增强化学气相沉积在某些处理过程中都应避免出现某些情况。除了精确控制射频功率和蚀刻时间等条件外，还必须注意保护蚀刻过程中不需要蚀刻的区域。这是一个更困难的问题，因为石墨烯具有高反应性并且非常容易受到损坏。幸运的是，许多等离子蚀刻设备制造商已经意识到在蚀刻过程中需要保护未蚀刻
