问：如何解决射频灯问题？ A：使用设备的标准测试灯管进入主机腔，汽车密封条等离子去胶机将RF切换到HI，观察灯管状态判断射频灯管问题（在此过程中完成） . 不）我需要吸尘器）。问：如何解决密封问题？ A：1、确保使用的真空泵能达到或超过1.4立方米/小时的小泵速，负压不超过200 MTORR。 2.
