工序复杂，海南等离子涂层加工费时费工，且造成污染。而现在有低温等离子体处理工艺。低温等离子体富集的离子、电子、激发态原子、分子及自由基均为活性粒子，易于和材料表面发生反应。因而在表面改性、薄膜沉积、刻蚀加工、器件清洗等领域得到广泛应用。随着低温等离子技术的改进和清洗设备特别是常压清洗设备的发展，海南
