等离子体清洗常用于光刻胶的脱除工艺中，海南手持式等离子清洗机作用在强电场作用下，在等离子体反应系统中引入少量氧，使氧生成等离子体，快速将光刻胶氧化成挥发性气态物质。此种清洗工艺具有操作简便、效率高、表面清洁、不需酸碱和有机溶剂等优点，且不需酸、碱、有机溶剂等，受到越来越多的关注。。 --- 等离子设
