其基本原理是在真空低压下，油漆附着力抽查比例表格将高频电源产生的高频输出到环形耦合线圈，将一定比例的混合蚀刻气体耦合到辉光放电，产生高密度等离子体.在下电极射频射频的作用下，这些等离子体与基板表面碰撞，使基板图案区域内半导体材料的化学键断裂，产生挥发性物质，蚀刻气体是一种气体。以形式与基板分离并从真
