电极的布局对等离子清洗的速度和均匀性有较大影响，河北真空等离子处理设备价格较小的电极间距能够将等离子体限制在狭小的区域从而获得较高密度的等离子体，实现较快速度的清洗。随着间距的增加清洗速度逐渐下降但均匀性逐渐增强，电极的尺寸通常决定了等离子系统的整体容量，在电极平行分布的等离子清洗系统中，电极通常作
