其机理主要依赖于等离子体中活性粒子的“活化”来达到被去除的物质外表面污渍的意图一般包括无机气体被激发成等离子体，固体表面改性的意义气相物质被吸附在固体表面，被吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子，产物分子分析形成气相，反应残渣从表面产生等过程。例如，固体表面改性的意义电子产品、PC胶框、外壳等元器
