等离子体发生器的等离子体处理是一种简单方便的栅表面处理方法，等离子体刻蚀机器可以降低元件的阈值工作电压，增加元件的传导电流。HEMT组件的AIGaN表面被氧等离子体氧化，提高了组件的肖特基势垒，降低了组件的读取工作电压。此外，经氧等离子体处理的表面不会引入新的绝缘膜，从而影响组件的特性。如果您对等离
