高纯N2用于产生等离子体，对pi附着力好的树脂同时预热印张以在特定的第二阶段激活聚合物材料，其中O2和CF4作为原始气体，混合后产生O，F等离子体并与丙烯酸反应、PI、FR4、玻璃纤维等达到净化效果。第三阶段以O2为原气，O和F为残余反应，保持孔壁清洁。除等离子体化学反应外，清洗过程还涉及与材料表面
