。等离子表面处理机在清洗过程中配合不同的气体，江西低温等离子处理机说明书其清洗残留物脏污效果也有很大差异。 其中常用的一种气体是惰性气体氩气(Ar)，真空设备清洗过程中与氩气配合往往能有效地去除表面纳米级污染物。 若要加强蚀刻作用，可以通入氧气(O2)，可以有效地去除有机污染物，例如光刻胶等。 还有
