工作原理是将硅片置于真空反应系统中，氧除胶机器施加少量O2和1500伏的高压，高频信号发生器形成高频信号，因此在硅片内有很强的电磁场。管在正确的时间。形成，电离 O2，形成氧离子，并且是有生命的（氧原子，氧分数）电子和电子的混合物会发光。活性氧能迅速将聚酰亚胺薄膜氧化成易挥发的蒸气，可被真空泵抽吸，
