键断裂后，氧等离子清洁机有机污染物元素与高活性氧离子相互作用，发生化学反应，形成CO、CO2、H2O等分子结构，从表面分离出来，起到表面清洁作用。氧气主要用于高分子材料的表面活化和有机污染物的去除，但不适用于易氧化的金属表面。真空等离子体状态下的氧等离子体看起来是浅蓝色，在部分放电状态下类似于白色。
