Zhou等将各层金属制造工艺中引入的PID独立测试分析，江苏在线式等离子清洗机批发以研究各种后段蚀刻工艺对PID的影响。金属层的电介质蚀刻对接触孔的金属天线充电，其在很小的接触孔天线比(如20)时就产生了PID问题， 而高层金属要到几千的天线比时才产生PID问题。这一过程还会引起腐蚀，江苏在线式等离
