等离子清洗机去除了基板表面的氧化物和有机污染物,氧plasma去胶机提高了基板和元件之间的键合区域的润湿性和活性,提高了元件的键合强度,并有助于减少与基板之间的间隙和导电键合材料。接触电阻。等离子清洗机 / 等离子蚀刻机 / 等离子处理器 / 等离子脱胶机 / 等离子表面处理机 等离子清洗机有几个名