等离子专用清洗工艺主要是基于等离子溅射和蚀刻所带来的物理和化学变化。等离子清洗机的清洗原理如下。等离子体与物体表面的相互作用 等离子体包括气体分子、离子、电子以及电中性原子或原子团（也称为能量激发自由基），氟材料等离子蚀刻设备以及等离子体发射的光。其中，波长短，紫外线因能量而在等离子体与物质表面的相
