与丝状放电相比，降低气体附着力准辉光放电等离子体更稳定、更均匀，更适合大面积材料或产品的表面处理。大气压等离子处理器形成准辉光放电，必须达到小的初始电子密度。如果电离电子的密度足够高，就会产生大面积的准辉光，减小切向空间电荷的电场梯度，同时第一个衰变头相互重叠融合。气体电离的强度受气体纯度、气体附着
