随着微电子行业的快速发展，晶圆plasma刻蚀等离子发生器越来越多地应用于半导体行业。随着人们对能源需求的不断增长，晶圆发展迅速，具有高效、环保、安全等优势。晶圆是核心部分。事实上，波长、亮度和正电压等主要光电参数基本上取决于晶圆的材料。等离子发生器在晶圆领域的应用有哪些特点？ 1.获得满意的轮廓，
