（7）自动化程度高；采用高精度控制装置，真空镀附着力检验时间控制精度很高；正确的等离子清洗不会在表面产生损伤层，表面质量得到保证；由于是在真空中进行，不污染环境，确保清洗面不受二次污染。等离子体清洗机理由于等离子体中电子、离子、自由基等活性粒子的存在，容易与固体表面发生反应。等离子体清洗主要依靠等离
