它是根据线上等离子清洗系统的机械系统,改进薄膜附着力参考单独等离子清洗,采用全自动化运行方式,可以与上游和下游生产工艺相连接,满足器件封裝行业大规模生产的需要。可以除去小残留物及污垢尺寸小于1um的有机薄膜,大大改进了表面性能,提升了后续焊接、封裝连接等后续工艺的可靠性,从而保证了电子产品的高精度、