少量的氧气被引入等离子体反应系统。在强电场的作用下，蚀刻什么意思氧气产生等离子体，等离子体迅速将光刻胶氧化成挥发性气体，被抽走。等离子清洗机的清洗技术，操作方便，效率高，表面干净，无划伤，有利于保证产品质量。且不使用酸、碱、有机溶剂。等离子清洗机通常用于:1。表面等离子体激活/清洗;2。2 .等离子
