在真空等离子degel机反应室通过高频和微波能量的效果,氧离子电离,免费的氧原子O *,氧分子和电子混合等离子体,具有强大的氧化自由氧原子(约10 - 20%)的高频电压效应和光刻胶薄膜反应:o2 RarR; O * + O *,换个+ O * CO2 + H2O。这些泵还可以处理颗粒、冷凝或腐蚀
