例如，拉开法测定附着力步骤湿法处理步骤简单易实现，但处理结果含有C、O、F等污染物；高温处理可有效去除C、O等污染物，但处理温度有待进一步优化，后续工艺兼容性差；等离子体处理可以有效去除O、F等污染物，但处理温度和时间不当会对表面带来离子损伤，重构SiC表面。等离子清洗机的使用变得越来越重要，拉开法
