等离子清洗剂表面改性：在材料表面产生功能性分子基团，快干漆附着力怎么样对高分子材料进行表面改性；去除残留在表面的微生物、。等离子清洁器应用包括预处理、晶圆凸块、灰化/抗蚀剂/聚合物剥离、介电蚀刻、静电去除、有机物净化和晶圆减压。等离子清洗机不仅可以彻底去除光刻胶等有机物，还可以活化和增厚晶圆表面，提
